北方华创新推出的SICRIUS PY302系列12英寸低压化学气相硅沉积立式炉设备，已在高端半导体制造领域取得重大技术突破。该设备针对逻辑芯片与存储芯片制造中的非晶硅、多晶硅薄膜沉积需求，成功解决了高深宽比结构填充、高平坦度薄膜生长及低温工艺兼容性等关键技术难题。

在三维集成芯片制造时代，随着堆叠层数增加带来的高深宽比挑战，传统填充工艺易产生孔洞缺陷的问题日益凸显。SICRIUS PY302系列凭借其创新的低压反应腔技术和多区独立高精度温控系统，实现了自下而上的无缺陷填充，为头部芯片制造企业提供了可靠的量产保障。

在栅极制造环节，该设备采用全自主设计的全石英腔室与高精度温控系统，结合先进的气体流场与热场协同控制算法，将薄膜均匀性和表面粗糙度控制在原子级别。同时，设备集成了多种硅源前驱体，支持原位清洗、刻蚀及多元素掺杂等先进工艺，显著降低了器件缺陷率。

目前，该系列设备已通过多家领先晶圆厂的严格验证，在先进逻辑与存储芯片制造中实现规模量产，并获得持续订单。2024年，北方华创薄膜沉积设备业务收入突破100亿元，产品线涵盖PVD、CVD、ALD、EPI及ECP等全系列技术。

公司批量销售的CVD设备包括：12英寸PECVD设备，适用于多种介质薄膜沉积；12英寸HDPCVD设备，具备优异的高深宽比填孔能力；12英寸LPCVD设备，满足精密结构填充需求；以及8英寸MOCVD设备，服务于功率器件、光电子等领域的外延生长。

据行业数据显示，薄膜沉积设备在集成电路设备投资中占比达22.1%，是半导体制造的核心装备。北方华创通过持续技术创新，正在为全球半导体产业提供更高效的设备解决方案。

妙手大仙医

0、8、《神医在都市》作者是：复仇；9、《妙手药师》作者是：肥刘；10、《仙道医生》作者是：藏剑隐士。