三星推进EUV空白掩模版国产化,S&S Tech认证在即或打破美日垄断

2025-09-28 12:22:38 4794次浏览

  

三星电子正积极推进EUV空白掩模版的国产化进程,计划在今年内实现韩国本土采购。作为半导体光刻工艺的核心组件,掩模版是一种刻有集成电路微型图案的高精度石英或玻璃基板,其图案通过光刻技术被转移到硅晶圆上,从而形成半导体器件的微观结构。

据行业消息,韩国掩模制造商S&S Tech研发的极紫外(EUV)空白掩模已进入最终认证阶段。三星目前正在实际生产环境中测试该公司的样品,重点检测产品缺陷问题,最终质量评估预计将于今年下半年完成。

若S&S Tech产品通过认证,将成为韩国第二家实现EUV材料商业化的本土企业。此前,东进世美肯已成功量产EUV光刻胶。业内人士透露,三星此举旨在通过引入本土供应商降低对日本豪雅的依赖,确保供应链稳定性并优化采购成本。

目 前三星主要从日本豪雅采购EUV空白掩模版,但因地震等不可抗力因素,供应时常面临中断风险。为此, 豪雅已在新加坡新建生产基地。值得注意的是,S&S Tech于2023年12月向日本Lasertec订购了单价417亿韩元的EUV掩模检测设备,在三星协调下,该设备预计10 月将交付至S&S T  ech龙仁新工厂。

考虑到单片EUV空白掩模版成本高达数万美元,本土化采购预计每年可为三星节省数千万美元,同时显著缩短供货周期。随着半导体制程持续微缩,市场对掩模版精度要求日益提升,EUV技术在未来先进制程中的广泛应用将带动高精度掩模版需求激增。

当前全球半导体掩模版市场由美日企业主导,美国Photronics、日本Toppan和DNP等凭借技术优势占据主要份额。为打破垄断,三星正加速推进多项关键材料的本土化进程,包括与FST合作开发EUV薄膜、联合LG Chem研发HBM用非导电膜(NCF)等。目前NCF完全依赖日本Resonac供应。

三星的供应链多元化战略主要应对AI浪潮带动的半导体需求激增,同时着眼于全球半导体产业竞争格局。值得关注的是,日 本正通过扶持Rapidus等企业强化本土半导体产业,若再次实施类似2019年的出口管制,恐将冲击韩国半导体生产。

今年3月,三星宣布未来十年将投入60.1万亿韩元(约3161亿人民币)用于核心制造领域布局,重点加强半导体封装、先进显示、下一代电池等领域的全球竞争力。具体措施包括:强化天安/温阳工厂的半导体封装研发能力;扩建世宗生产基地提升封装基板产能;将龟尾打造为半导体显示材料专业生产基地等。

除资本投入外,三星还将通过资金支持、技术协作和人才培养三维度实施"可持续双赢"战略,计划未来十年投入5000亿韩元支持本土半导体设备材料研发,另设5000亿韩元基金扶持中小型设计公司,并积极吸引国际材料 设备巨头入驻韩国半导体集群。

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