三星推进EUV空白掩模国产化打破日企垄断,S&S Tech认证在即或年省数千万美元成本

2025-09-28 08:44:55 3102次浏览

  

三星电子正积极推进极紫外光刻(EUV)空白掩模版的国产化进程,计划在今年内实现韩国本土采购。作为半导体光刻工艺的核心组件,掩模版是一种刻有集成电路图案的高精度石英或玻璃基板,其微缩图案通过光刻技术转移到硅晶圆上,形成半导体器件的微观结构。

据行业消息,韩国本土掩模制造商S&S Tech的EUV空白掩模产品已进入三星认证的最后阶段。目前三星正在实际生产环境中测试其样品,重点检测产品缺陷,最终质量评估预计将于今年下半年完成。若认证通过,这将成为继东进世美肯成功量产EUV光刻胶后,韩国企业实现的第二例EUV关键材料国产化突破。

三星此举旨在优化供应链结构,通过引入S&S Tech作为新供应商,降低对日本豪雅公司的单一依赖。据悉,三星当前使用的EUV空白掩模版主要依赖日本进口,但受地震等不可抗力影响,供应稳定性屡受挑战。为此,豪雅已在新加坡新建生产基地以保障供应。

值得注意的是,S&S Tech于2023年12月向日本Lase rtec采购了单价达417亿韩元的EUV掩模检测设备。在Lasertec面临订单积压的情况下,三星主动协调促成了设备交付,预计今年10月该设备将入驻S&S Tech龙仁新厂。考虑到单片EUV空白掩模版成本高达数万美元,本土化采购预计每年可为三星节省数千万美元,并显著缩短供货周期。

随着半导体制程持续微缩,掩模版的精度要求日益严苛。在7nm以下先进制程中,EUV技术将成为主流,带动高精度EUV掩模版需求激增。目前全球掩模版市场被日本Toppan、DNP和美国Photronics等国际巨头垄断,这些企业通过技术壁垒和市场优势制约着新兴厂商的发展。

除掩模版外,三星正加速推进多项关键材料的本土替代:与韩国FST合作开发EUV薄膜,联合LG Chem研发高带宽存储器(HBM)所需的非导电膜(NCF)——该材料目前完全依赖日本Resonac供应。这一系列供应链多元化举措,既是为应对AI浪潮带来的半导体需求暴涨,也是为应对美日半导体产业竞争格局的变化。

日本政府正通过扶持Rapidus等新兴芯片企业强化本土半导体生态。业界担忧,若日本重演2019年的材料出口管制,韩国半导体产业或将面临断供风险。为此,三星于今年3月宣布未来十年将投入60.1万亿韩元(约3161亿元人民币)强化本土制造能力,重点布局半导体封装、先进显示 、下一代电池等战略领域。

具体规划包括:三星电子将提升天安/温阳工厂的先进封装研发能力;三星电机计划扩建世宗基地增强封装基板竞争力;三星SDI拟将龟尾打造为量子点等高端材料生产基地。此外,三星还将通过5000亿韩元的联合研发基金和中小芯片设计企业支持计划,构建更完善的本地半导体生态。

通过"资金+技术+人才"三位一体的支持体系,三星致力于与本土企业建立可持续的共生关系。公司还计划吸引全球顶尖材料设备商入驻韩国半导体集群,全面提升产业链竞争力。

*免责声明:本文观点仅代表原作者立场,供行业交流参考。

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