三星电子加速EUV空白掩模版国产化进程,S&S Tech认证进入最后阶段,韩国半导体材料本土化再获突破

2025-09-29 06:56:10 524次浏览

  

三星电子正积极推进极紫外(EUV)空白掩模版的国产化进程,计划在今年内实现韩国本土采购。作为半导体光刻工艺的核心组件,这种高精度石英/玻璃基板承载着集成电路的微缩图案,通过光刻技术将电路图形转印至硅晶圆,从而构建半导体器件的微观结构。

行业消息显示,韩国本土企业S&S Tech研发的EUV空白掩模版已进入三星认证的最后阶段。目前三星正在实际生产环境中测试该样品,重点检测可能存在的缺陷问题,最终质量评估预计将于下 半年完成。若通过认证,这将成为继东进世美肯成功量产EUV光刻胶后,韩国企业在EUV材料领域的第二项国产化突破。

业内人士透露,三星半导体光刻团队此举旨在通过引入S&S Tech作为新供应商,降低对日本豪雅公司的依赖度。当前三星使用的EUV掩模版主要依赖这家 日本供应商,但受地震等不可抗力影响,供应链稳定性屡受挑战。值得注意的是,豪雅已在新加坡新建工厂以应对供应风险。

据悉,S&S Tech于2023年12月向日本Lasertec采购了单价达417亿韩元的EUV掩模检测设备。由于Lasertec订单积压严重,三星已出面协调优先处理这笔订单,预计设备将于10月交付至S&S Tech龙仁新工厂。考虑到单片EUV空白掩模版成本高达数万美元,本土化采购预计每年可为三星节省数千万美元,同时显著缩短供货周期。

随着半导体制程持续微缩,掩模版的精度要求日益严苛。在7nm以下先进制程中,EUV技术 应用比例持续提升,带动高精度EUV掩模版需求激增。当前全球掩模版市场呈现高度集中格局,美国Photronics、日本Toppan和DNP等国际巨头凭借技术优势占 据主导地位,并通过技术壁垒制约新兴企业的发展。

除掩模版外,三星正全面推进关键材料的本土化替代:与韩国FST合作开发EUV薄膜以替代日本三井化学产品;联合LG Chem研发HBM用非导电薄膜(NCF),该材料目前完全依赖日本Resonac供应。这一系列举措旨在应对AI浪潮带来的半导体需求暴涨,同时降低地缘政治风险——2019年日本对韩半导体材料出口管制事件仍历历在目,近期日本政府扶持Rapidus等本土芯片企业的动作更显战略意图。

作为长期战略,三星集团宣布未来十年将投入60.1万亿韩元(约3161亿元人民币)强化核心制造能力,重点布局半导体封装、先进显示、下一代电池等领域。其中三星电子将提升天安/温阳工厂的研发产能,加强封装技术攻关;三星电机计划扩建世宗基地的封装基板产线;三星SDI则聚焦龟尾基地的量子点材料生产。

在产业生态建设方面,三星拟通过"可持续双赢模式"从三个维度发力:未来十年投入5000亿韩元支持本土设备材料企业联合研发;另拨5000亿韩元资助中小型设计公司MPW服务;同时积极吸引国际材料设备龙头入驻韩国半导体集群。这一系列布局不仅着眼于供应链安全,更旨在提升韩国半导体产业在全球竞争中的综合实力。

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